LLO 장비
Laser Lift Off System은 Laser line 빔을 이용 Flexible OLED나 LED 제조시 희생층을
Ablation하여 Carrier Glass와 분리시키는 설비
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Model |
G6 |
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특징 |
1. 초정밀 위치 정밀도 2. 정속 Air bearing stage 3. 높은 생산성 3. 안정성있는 설비 구조 |
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사양 |
Ｌine length : 100~1000mm Line Homogeneity : <=3% Line width : 20~40um W.D : >=100mm |
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적용분야 |
OLED |
적합재질 |
PI |
LLO 장비 샘플 사진
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UV SLA
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ELA reference
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